半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体行业顶级公测一体化涉重工业废水——MVR硬性嵌套循环零排该项目
好项目背景图
半导体设备设备中高档公测楼盘,规模较150万立方/天,是首例半导体设备设备公测配合涉重电镀废水处理工艺零排楼盘。公测的环节的镀镍、镀铜、引线构架清洁会形成含镍含铜电镀废水处理工艺,经济区符合要求"无尾水外排",产水全回收利用于产线。
水质标准特殊性与疑难问题
污废水 以含镍主导(含量10–100毫克/升),伴氢化物发生器铜、锌,pH起伏较大大(2–12),同时还有光刻胶无残留的少量出可挥发物。测封厂场景紧,追求处里安全设施占地面积小;零排表明着浓水不要清运多少,就必须网上化掉成果前馈。
治疗技术交通路线
一体化走"分质收藏 → 预工作除杂 → 化学工业沉淀物中除镍 → 吸附 → UF+二级RO → MVR二次间歇蒸馏 → 蒸汽加热水回收利用":
含镍线先调pH到10–11,加药氢腐蚀钠生成二维码Ni(OH)₂水解,后加加硫钠深度.收集残余物镍(加硫镍Ksp比氢腐蚀镍更小,能够镍压到0.1毫克/升下述);
沉淀出的出水出水经多有机溶剂油烟净化器器+门卫油烟净化器器后进UF,再进一级通过成绩RO,产水随便回产线擦洗;
RO浓水(含盐+残存高价属)进MVR強制再配置汽化器,強制再配置能扛高含盐积灰,汽化器附带再线除垢,不会堵;
MVR冷却水水重回使用水池子,蒸发器残液委外梵烧或有所作为垃圾防范,整体生活区无等离子态外排。
重要设施优越性反映
MVR强制性要求无限反复的相较于寻常降膜汽化,无限反复的气速高、传热系数面难以结镍盐/碳酸盐垢,时候公测此种"蓄水量太大但饮用水杂"的动画场景;集成化撬装设计拆迁赔偿比传统的汽化塘+多效汽化策划方案小60%以上的;恶臭侧设备配套生物学滤池,把调结池和污水间的恶臭征集后化学降解成CO₂和水,防范公测厂毗邻商务办公室的怪味投诉信。
整理效率与利润
溢水镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,远高于《电镀层弄脏物排污规范标准》表三;所有150万立方/天产水回收利用于公测产线清洁工作,用作等量新鲜度水;危废处理(减压蒸馏残液+厌氧颗粒污泥)量比传统艺术"沉淀出的+排污"模型减约70%。对富士康侧,公测建设项目优质审批卡点遭打通;