某半导体材料研发客户因晶圆冲洗步骤诞生含氨废渣，水流量200吨/天。废渣中除高锰酸盐指数外还内含氟化物和进样器巨资属，处里难易大。场地排放规范规范让高锰酸盐指数＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 化工废水营养成分及来历 晶圆清洁废液（基本源头）：含挥发酚200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀工艺废水处理：含进样器铜、镍等巨资属，pH值下跌大 CMP碾磨工业废水：含硅小粒及氧化还原电位 治疗方法的流程 利用"化工乳浊液+膜破乳+折点氯化"女子组合加工过程： 预处置 ：添加CaCl2除氟，操控pH在7.5-8. 超滤膜软件 ：出掉0.01μm往上小粒物 反渗透膜法浸提 ：将高锰酸盐指数精浓至1000mg/L及以上 折点氯化 ：正确把握氯加药系统量，将氯离子流量转化为N2 阴阳离子交換 ：保证血本属达到 结果英文目的 氟化物相对稳定＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 高价属含量的降到监测限 水工业废水处理率达75% 飞灰引发量削减40%