该厂为8寸大晶圆生孩子线生活设施的超净水平台,经常带来含硅废液150吨。废液中虽无高价属,但硅分量高易积灰,且阻值率需符合18MΩ·cm才可回收。原始治理 加工制作工艺 是没办法能够满足新废止的《电子元器件鑫霖环保水严重有机废气摆放规定》(GB39731-2020)尤其摆放卫生防护距离。
废液成份特殊性
具体造成的有害物质
:电解质溶液硅(200-300mg/L)、颗粒物硅(粒度0.1-1μm)
特色条件
:TOC<10μg/L,硼占比<5μg/L
生活饮用水性状
:低纯水电导率(<50μS/cm)但硅单质形状很复杂
清理技艺程序流程
自主创新按照"梯级膜区分+电去阴阳离子"組合艺:
微滤预操作
:1μm陶瓷制品膜过滤大颗料硅,通量恢复80LMH
亚铁离子交流不饱和树脂
:D201大孔树脂胶选定性吸附性硅酸碳原子
2级RO系统的
:弟一段回收公司率60%,二段应用高脱硼膜构件
EDI电去阴阳离子
:直流电压密度单位2A/m²,长期清除残渣亚铁离子
红外光谱杀菌的
:254nm红外光谱线摄入量40mJ/cm²
技艺突出
激发使用阻硅剂(无机胺类挽回物),减缓膜严重污染寿命3倍
EDI模快多元化流道设汁,硅清掉率改善至99.8%
手机在线硅具体测试仪(估测空间0.1-500μg/L)保证 精准脱贫有效控制
进行工作成效
经3、方论文检测:
总硅从280mg/L降落到0.05mg/L
硼含量的从8μg/L降到0.3μg/L
系统的回收利用率从原40%完善至68%
膜修改时间增加至5年,年运作成本预算减少35%