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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8寸大晶圆生孩子线生活设施的超净水平台,经常带来含硅废液150吨。废液中虽无高价属,但硅分量高易积灰,且阻值率需符合18MΩ·cm才可回收。原始治理 加工制作工艺 是没办法能够满足新废止的《电子元器件鑫霖环保水严重有机废气摆放规定》(GB39731-2020)尤其摆放卫生防护距离。 废液成份特殊性 具体造成的有害物质 :电解质溶液硅(200-300mg/L)、颗粒物硅(粒度0.1-1μm) 特色条件 :TOC<10μg/L,硼占比<5μg/L 生活饮用水性状 :低纯水电导率(<50μS/cm)但硅单质形状很复杂 清理技艺程序流程 自主创新按照"梯级膜区分+电去阴阳离子"組合艺: 微滤预操作 :1μm陶瓷制品膜过滤大颗料硅,通量恢复80LMH 亚铁离子交流不饱和树脂 :D201大孔树脂胶选定性吸附性硅酸碳原子 2级RO系统的 :弟一段回收公司率60%,二段应用高脱硼膜构件 EDI电去阴阳离子 :直流电压密度单位2A/m²,长期清除残渣亚铁离子 红外光谱杀菌的 :254nm红外光谱线摄入量40mJ/cm² 技艺突出 激发使用阻硅剂(无机胺类挽回物),减缓膜严重污染寿命3倍 EDI模快多元化流道设汁,硅清掉率改善至99.8% 手机在线硅具体测试仪(估测空间0.1-500μg/L)保证 精准脱贫有效控制 进行工作成效 经3、方论文检测: 总硅从280mg/L降落到0.05mg/L 硼含量的从8μg/L降到0.3μg/L 系统的回收利用率从原40%完善至68% 膜修改时间增加至5年,年运作成本预算减少35%

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