该晶圆研制厂属于华南位置,核心研发8英尺半导体器件晶圆,单日废水处理释放物量约800吨。主要是因为研发步骤中选择非常多的盐酸完成晶圆蚀刻,产生废水处理中氟化物溶度高达mg200-300mg/L,远超一个国家释放物标准的(10mg/L以下的)。
废污水营养成分及特征
焦化废水一般源自6个方式:
晶圆蚀刻工艺流程
:含高渗透压氟化物(HF)、硝酸钠及极少量血本属
普通设备设备抛光剂(CMP)电镀废水
:含纳米级级硅粒状、生物碳络合剂
装置难以清理废污水
:含异丙醇、氟化物等充分物
办理工艺设计鑫霖环保流程
选择"检查是否水解+水泥混凝土水解+深层过虑"一级治理 平台:
四级治理
:加药系统氯化钙和氢防氧化钙,型成氟化钙积累,氟化物消除率达85%
一级解决
:生成PAC(缔合氯化铝)和PAM(聚丙稀酰胺),去掉固体态废弃物物
四级加工处理
:经过多物料过滤装置器和抗逆性炭吸,喷水氟化物溶度稳固在8mg/L下
重中之重生产设备收录:pH半自动的调节系统、斜管沉淀物中池、板框压滤设备(污泥干化缺水)。
终结效果好
工程运营一年监测网参数呈现:
氟化物均衡密度:7.2mg/L(不超各国准则)
COD去掉率:92%
工业废水含水量率:≤65%
年回收利用氟化钙副护肤品约150吨,变现环境循环经济利用